Cox理论计算

在电路设计零极点计算中，先要对MOS场效应管的栅电容进行理论估算

栅电容

Cgg=CoxWL

W和L值查看元件参数表

 

计算Cox

概念：

介电常数：

它是表示绝缘能力特性的一个系数，符号为ε，单位为F/m（法/米）

相对介电常数：

某种电介质的介电常数ε与真空介电常数ε0的比值，称为该电介质的相对介电常数，符号为εr，即εr=ε/ε0，εr是无量纲的纯数

 

其中真空介电常数

ε0=8.854E-12F/m

SIO2的相对介电常数

εr=3.9

所以SIO2的介电常数

ε=εr*ε0=3.9×8.854E-12F/m

 

Cox计算

Cox是介质的介电常数ε与tox的比值，tox可以在工艺model文件(.scs文件)中找到，以HHG90工艺为例：

在model文件中可以查到NCH5的

toxn=1.15E-08m

PCH5的

toxp=1.14E-08m

 

SIO2的介电常数

ε=3.9×8.854E-12F/m

Coxn=ε/toxn=3fF/um2

Coxp=ε/toxp=3.02fF/um2

 

可见PCH5的Cox比NCH5略大，数值几乎一致，可按照3fF/um2进行

电容计算

如：W/L=100u:0.65u

m=200的PCH5

栅电容近似计算为：39pF